其實以爾英特集團為首的這個半導體聯盟在多年前就將玄思科技集團旗下的星環科技公司給排斥在極紫外光光刻機技術路線之外。
亞米利加國這家設計研製光刻機光源科技公司雖然也是比較早拿出了這種極紫外光光源的工程樣機，采用這種二氧化碳激光飛秒高能激光以每秒五萬次的頻率來擊打二十微米的錫滴，使液態錫汽化為等離子體，從而產生波長短的極紫外光，雖然說光源波長比星環科技公司波長要短，能做到22納米，但是因為功率低現階段隻能是做到55瓦，目前來說是無法真正投入實用的。
但是星環科技公司這邊研製出來的這種光源係統在這種特殊的反射透鏡鏡頭組的加持下可以輸出上千瓦的功率，這個就非常恐怖了！
玄思科技集團旗下的星環科技公司采用了激光倍頻技術路線，這種技術路線跟半導體聯盟采用的技術路線是完全不同的，尤其是對激光倍頻晶體材料的設計研發製備和激光晶體器件的加工要求都是世界級的難度。
半導體聯盟對於這種極紫外曝光技術的研發原先是非常有信心能在今年導入32納米集成電路大批量生產，不過受限於亞米利加國這套光源係統輸出功率不足，這個目標已經是無法實現。
此時星環科技公司祭出了這種波長在三十五納米的激光光源係統和特殊鏡頭組係統就無疑充滿了向半導體聯盟炫耀的意味。
譚小鬆一臉自豪地說道：“相比較於之前傳統的氣體激光光源，我們這套光源並不需要長時間的預熱，在非常短的時間裏麵就可以提高到最大的功率，並且不需要中途進行激光燃料的更換，最大限度地減輕客戶的使用成本。”
“目前我們研製的這套光源係統總的輸出功率可以做到1200瓦，完全可以滿足雙工件台同時進行工作。經過大量的模擬測試，搭載這套光源係統的光刻機具備每小時處理200張12英寸晶圓的能力。”
在譚小鬆進行解說的同時，他身後的超大屏幕上也是演示了光源係統工作的模擬動畫，台下的眾人此時都是露出不能置信的神情！
設計生產極紫外光源必須突破傳統激光器輸出功率低、光刻能量小、紫外光容易被其他材料和空氣吸收等一係列難題，亞米利加國這家光源係統公司到現在還未搞定，這次星環科技公司卻是率先將這種激光光源做做到了實用化，也就是說在光源係統上已經領先於亞米利加國這家光源係統技術公司！
這也意味著玄思科技集團在這種高能激光光源係統的設計和製造技術實力已經達到了世界頂尖水平，尤其是在這些倍頻激光晶體材料的設計研發製造上是世界領先的！
中*華國在激光晶體器材料設計製備技術上在上個世紀九十年代就領先了世界，尤其是在大功率激光晶體材料方麵一直是領先的，隻不過激光晶體器件設計和加工上以前是處於弱勢。
想不到十來年時間裏麵玄思科技集團旗下的眾多子集團公司竟然在激光倍頻晶體和高能飛秒激光以及激光晶體器件設計加工技術上做到了如此地步！ 本章尚未完結,請點擊下一頁繼續閱讀---->>>