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曹嘉許沉思著點頭，他同樣沒有懷疑辛啟天提供的信息真實度，“如果這樣的話，看來我們確實時間很緊。老大，有沒有可能，直接跨過EUV技術，提供四代五代機器？”
辛啟天輕輕搖頭，“跨過EUV技術，不大可能。畢竟EUV階段，才剛剛起始。沒有走到一定階段，下一階段，到底開展什麽方向研究，我也說不準。”
“因為，我們不可能完全放棄現有半導體產業，獨立去搞其他研究。”
“那樣的話，需要成百上千的工藝去完善整個供應鏈才行。否則，即便東西在先進，沒有配套的產業鏈，產業環境。”
“市場很難認可。”
“我們市場應用率比較低，變革幅度大一些沒問題。換成歐美那些國家，讓他們換一條路走，需要消耗無數龐大的資源。得不償失。”
“不過，我覺得可以在光源上，琢磨琢磨。”
“現在EUV采取的光源研究方向，是大功率CO2激光器。由於二氧化碳輻射到EUV的轉換效率為百分之幾，二氧化碳源必須提供20kW以上的功率的能源。”
“輻射以50kHz的脈衝碰撞~30μm的錫滴。”
“所以導致，EUV不穩定，碎片衰減嚴重。ASML他們現在關鍵攻關的難題，就是大功率CO2激光器係統。”
“我們要做的話，我建議走兩個方向，一個簡單，一個更難。”
“氣體激光器技術已經很成熟了。我有信心，如果我們來搞CO2激光器，或者我更傾向的CO激光器，當然後者對於成本、製造生產運行工藝要求很高。”
“如果我們來做，應該會很快搞定。”
“問題是，東西做出來。與ASML合作是可以的，但對方不會給我們更大優惠。很難讓我們入股，每年能購買的EUV機器，恐怕依然在兩三台左右。就這，估計還會有許多其他要求。”
“風車國依靠光刻領域霸主，可是沒少幫助國內許多地方。”
“另一個方向，我考慮做自由電子激光器。”
“這種激光器，前景非常好！”
“具有高功率、高效率、波長的大範圍調諧，和超短脈衝的時間結構，等一係列優良特性。”
“自由電子激光器，產生激光的原理，與以往的激光器有本質上的不同。利用相對論電子束，通過周期磁場將電子束的動能轉換為輻射能。”
“如果能做成，在凝聚態物理、材料特征、醫學、激光武器等等方麵，有很大市場！”
“當然，要解決的問題也很多。首先加速器得解決、其次，還要有用於吸收的光學係統。”
“特別是要應用於光刻技術中的話，需要計算恒定橫向周期磁場中的場致受激輻射的效率，轉換率，衰減等等。”
“研發成本會很高！”
“我們要投資的地方有很多，我目前，還不能保證，光刻方麵投資比例。總得平衡一點，先搞成一個體係。單一有台強大的發動機，結果是老爺車，不配套。水桶最短板一下子過於短。”
饒小荊說道：“那先不著急唄老大，咱們把整個半導體產業鏈中，所有研究方向都定好了，然後看看哪裏可以提前研究一下！” 本章尚未完結,請點擊下一頁繼續閱讀---->>>