“非常好！”楊子光高興地點頭說道，“你們能在這方麵跑到所有公司的前麵對我們國家具有重大的戰略價值，你們一定要牢牢地占領這個技術製高點，這樣我們國家才不會被國外卡脖子。”
隨後楊子光也是視察了瑞星科技公司，當楊子光見到瑞星科技公司正在測試試驗的第三代高端G1光刻機。
瑞星科技公司和帝都物化所聯合研製的氟化氪激光光源去年已經變得成熟了，為瑞星科技公司提供了穩定可靠的光源。
同時瑞星科技公司也是根據楊傑的技術方案開發出了掩模台、工件台位置測量裝置及測量方法，並且申請了國家專利。
這套裝置采用了若幹激光幹涉儀取代電容傳感器，使水平向和垂直方向的傳感器一致，摸索出了一套獨有的算法，對測量過程中引入對各向測量幹涉儀的進行了權重分配，使得對掩模台位置測量更加精確。
瑞星科技公司通過數年的艱苦研發，總算是將工件台和掩膜台運動精度控製在了三納米的程度，這一切是瑞星科技公司和機床研究院和數個研究所一同攻關的成果，光是這麽一個係統參與的技術人員就達到了上千名。
三陽光學廠在使用了機床研究院超高精度的磨床後和天馬科技公司提供的研磨液後總算是將這些鍋蓋大小的鏡頭光學孔徑數值提升到了1.33，已經接近了光學鏡頭的極限。
G國蔡司能把光學鏡頭的光學孔徑數值已經能做到1.4，已經逼近了1.49這個極限，三陽光學廠能做到這個地步已經是非常了不起了。
這些鏡片是三陽光學廠一位有著幾十年鏡頭研磨經驗的老技師在超高精度磨床和測量儀器的配合下手工研磨出來的。
雖然這樣的光學鏡頭產量少，生產時間很長，但是卻是讓三陽光學廠在光學鏡頭技術上邁入了一流的光學器材廠商行列。
而瑞星科技公司也是為這套光刻機研發了減震器，采用了內部封閉框架，將工作台與外部環境隔離，保持水平，減少外界振動幹擾，並維持穩定的溫度、壓力。
為了達到這些要求，瑞星科技公司上下所有人員都是削尖腦袋不停地想辦法解決各種工程技術上的難題，總算是將雙工件台的第一台氟化氪激光光源的沉浸式光刻機給製造了出來。
這也就意味著瑞星科技公司這套光刻機可以支持的極限製程工藝在32納米，如果在這個期間三陽光學廠能將鏡頭的光學孔徑數值提高到極限，那麽可以支撐製程工藝來到22納米！ 本章尚未完結,請點擊下一頁繼續閱讀---->>>