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1467章 光刻機展覽會!(2/2)

作者:鹿林好漢字數:4374更新時間:2020-09-02 04:19:17

    瑞星科技公司成立了十來年,在光刻機產品技術上終於是成了讓人無法忽視的存在,就算是爾英特這幾年不再采購瑞星光刻機的半導體產商也是不得不派代表過來進行詢問了解他們的產品設備技術進展。

    沒辦法,誰讓瑞星科技公司的光刻機成了光刻機市場的霸主呢,更何況這家公司光刻機產品技術是最先進的,要想在製程工藝上的進步還是得靠這家公司。

    瑞星科技公司向來非常低調,尤其是在光刻機產品設備上麵是頗具神秘色彩,從來不向外界公布產品設備的研發進展情況,就連中央電視台方麵想進行參觀報道都被婉拒了,國內外不少人隻能是從瑞星科技公司申請的技術專利上來了解這家公司在光刻機技術研發上的進展。

    現在瑞星科技公司這次主動地召開展覽會和新聞發布會也是讓人嗅到了不一樣的味道,不少人也是猜測這家公司可能是在光刻機產品技術上取得了重大的進展才會有這樣的舉動。

    站在台上的何玉光才不會管下麵這些來賓到底是抱著什麽樣的心態,此時他的心情是真的格外地好,他也是操著一口濃濃梧州口音開口說道:“非常感謝各位來賓在百忙之中抽空前來參加我們瑞星公司的新聞發布會……”

    台下這些戴著同步翻譯器的眾多海外代表看到台上正在說話的何玉光,都是神情複雜。

    此時何玉光也是首先介紹了瑞星科技公司在光源係統上的技術進展。

    “這次我們為大家帶來了最先進的深紫外光刻機光源係統,這套光源係統是我們采用了深紫外固態激光光源,通過激光倍頻技術我們做到了波長在35納米的光源,通過我們公司內部技術人員的各種模擬測試,結果表明這套光源可以在征服百分之零點二的輸出劑量長時間穩定進行工作,完全可以滿足商業光刻機進行掃描照射的要求。”

    何玉光一臉自豪地說道:“相比較於之前傳統的氣體激光光源,我們這套光源並不需要長時間的預熱,在非常短的時間裏麵就可以提高到最大的功率,並且不需要中途進行激光燃料的更換,最大限度地減輕客戶的使用成本。”

    “現在我們研製的這套光源係統總的輸出功率可以做到220瓦,完全可以滿足雙工件台同時進行工作。經過大量的模擬測試,搭載這套光源係統的光刻機具備每小時刻蝕140張12英寸晶圓的能力。”

    在何玉光進行解說的同時,身後的超大屏幕上也是演示了光源係統工作的模擬動畫,台下的眾人此時都是露出不能置信的神情! 本章已閱讀完畢(請點擊下一章繼續閱讀!)

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